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　　国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司申请一项名为“机台温度补偿方法及系统”的专利，公开号CN121693033A，申请日期为2024年9月。

　　专利摘要显示，本发明提供了一种机台温度补偿方法及系统，其中机台温度补偿方法包括以下步骤：收集晶圆同一个直径上的测量数据，并根据机台的温度探针信息进行存储，以获得每个所述温度探针对应的数据组；根据所述数据组计算出每个所述温度探针的温度补偿值；通过机台自动化系统将计算出的所述温度补偿值反馈至机台的温度补偿表中，以实现对每个所述温度探针的温度补偿。通过本发明的方法可以有效监控机台稳定性的同时减少人力浪费以及避免计算错误或补偿错误的风险。

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　　天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目182次，财产线条，此外企业还拥有行政许可56个。

　　声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

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