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　　专利摘要显示，本实用新型公开了一种异质结 PECVD 用载板镀膜厚度监控系统，包括降板机构，降板机构包括升降运动的抬升作用板，抬升作用板的上端设有称重传感器。本实用新型的有益效果：采用称重的方式确定载板镀膜厚度区别于常规下通过产量来评估载板镀膜厚度的方式；相较常规方案能更精准的确定载板镀膜厚度，能更好的指导产线运作；使用该种方法后可以较为精准的控制载板镀膜厚度，更好的确认载板清洗周期，减少镀膜厚度未达标准时的清洗作业从而减少 NF3 等气体的耗量；可以减少因超出载板镀膜厚度标准而产生的掉粉，减少进而产生的产线不良比例升高、网版寿命降低的问题。

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